【真空镀膜技术专业词汇】真空镀膜vacuumcoating:在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。基片substrate:膜层承受体。试验基片testingsubstrate:在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和(或)试验的基片。镀膜材料coatingmaterial:用来制取膜层的原材料。蒸发材料evaporationmaterial:在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。溅射材料sputteringmaterial:有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。膜层材料(膜层材质)filmmaterial:组成膜层的材料。蒸发速率evaporationrate:在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以该时间间隔溅射速率sputteringrate:在给定时间间隔内,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。沉积速率depositionrate:在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。镀膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。真空镀膜机机组是怎样的?四川塑胶镀膜空心阴极霍尔离子源批发价格
【真空镀膜机之辅助抽气系统】真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三da部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。河南光纤镀膜空心阴极霍尔离子源真空镀膜机是什么样的?
【真空镀膜设备设计原则及常用技术指标】真空设备设计原则:(1)先功能,后结构。先给出指标参数、生产要求、功能;(2)先核xin后辅助。由内向外。先决定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整体。再由整体,定局部。(4)先设计,后校核。由粗到细。镀膜机常用技术指标:镀膜方法:CVD,PVD(蒸发、溅射、离子镀、复合镀);被镀工件的形状、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生产方式:连续、半连续、周期式。生产周期。生产量。生产速率。技术参数;设备极限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作气氛;漏率、抽空时间、恢复真空时间。工作(烘烤)温度;(热处理炉、冻干机)膜厚不均匀程度;功率;高电压。
【真空镀膜设备的正常工作条件】1、环境温度:10~30℃2、相对湿度:不da于70%3、冷却水进水温度:不高于25℃4、冷却水质:城市自来水或质量相当的水5、供电电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz(由所用电器需要而定),电压波动范围342~399V或198V~231V,频率波动范围49~51Hz;6、设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。7、设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。此外,真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染,可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外。离子真空镀膜机是什么?
【真空镀膜真空的基本概念】:真空的划分:粗真空760Torr~10E&3Torr高真空10E&4Torr~10E&8Torr超高真空10E&9~10E&12Torr极高真空
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【真空镀膜机清洗工艺之氮气冲洗】氮气在材料表面吸附时,由于吸附能小,因而吸留表面时间极短.即便吸附在器壁上,也很容易被抽走。利用氮气的这种性质冲洗真空系统,可以dada缩短系统的抽气时间。如真空镀膜机在放入da气之前,先用干燥氮气充入真空室冲刷一下再充入da气,则下一抽气循环的抽气时间可缩短近一半,其原因为氮分予的吸附能远比水气分子小,在真空下充入氮气后,氮分子先被真空室壁吸附了。由于吸附位是一定的,先被氮分子占满了,其吸附的水分子就很少了,因而使抽气时间缩短了。如果系统被扩散泵油喷溅污染了,还可以利用氮气冲洗法来清洗被污染的系统.一般是一边对系统进行烘烤加热,一边用氮气冲洗系统,可将油污染消除。四川塑胶镀膜空心阴极霍尔离子源批发价格